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沙龙salon365沙龙salon365于单晶炉、多晶炉冷却,对上下腔体、水冷电缆、电极、保温罩安装法兰、上炉盖、温度计水冷支架、下部水冷法兰、AC 电源和真空机组分别进行冷却。作为单晶硅生长最重要的单晶炉,炉内长时间处于1400℃高温状态,而炉体材料一般是不锈钢材料,其耐受温度在300℃以下,如果炉体长期在大于300℃的高温环境下工作,会由于不锈钢材料的氧化导致炉体表面发黄并生锈腐蚀,大大缩短炉体寿命。在多晶硅生产过程中,主体设备还原炉反应温度同样高于1000℃。这些热量必须通过循环水系统来进行冷却,确保炉体的安全运行。沙龙salon365的采用避免了循环水系统因结垢而导致散热性能降低,能够有效延长炉体的使用寿命。

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